光刻机是芯片制造的主要设备，也一直是我国最大的短板之一。

早在十多年前，我国便已是全球最大的芯片消费市场。截止到2023年，中国当年消耗的芯片占全球芯片消耗的1/3。2023年，我国进口芯片总计花费超过3495亿美元，折合人民币高达惊人的2.38万亿。而全球芯片的总销售额为5213亿美元。也就是说，中国在2023年进口的芯片按金额计算占全球的67%左右。

龙芯中科是我国具有代表性的芯片生产企业

这一方面反应了我国强大的生产需求，毕竟各行各业都要用到芯片，但另一方面也表明我国对芯片的依赖十分严重，一旦对手对我国芯片进行制裁，那么后果不堪设想。在9月初，美国就已经宣布对中国出口的半导体制造设备进行管制，中国从荷兰光刻机巨头阿斯麦公司进口的光刻机可能会受到影响。也就说，美国的此次制裁实际上是在限制中国对光刻机的进口。

美国的这一举动不可谓不阴险，因为美国自特朗普时期开始对华发动贸易战以以来，芯片成为主要制裁的领域。但由于国产自主研发芯片的崛起，美国的制裁失效了。所以美国此次是从源头上制裁中国的芯片行业，那就是制裁光刻机的进口。因为芯片的制造需要光刻机进行生产，没有光刻机，任你有再强的芯片研发能力，也无法生产出芯片。

在这种不利的情况下，工业和信息化部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，曝光了大量国之重器的科研技术，其中国产氟化氩光刻机的亮相引起了广泛关注，有猜测这是中国对美国制裁的回应。

工业和信息化部发布的有关国产氟化氩光刻机的信息

众所周知，氟化氩光刻机作为集成电路生产的关键设备，其光源波长为193纳米，能够实现65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度。这意味着中国氟化氩光刻机已经具备生产8纳米以下芯片的能力。

这是什么概念？

打个比方，光刻机的精度越高，那么生产的芯片就越强。当前世界最先进的光刻机是荷兰阿斯麦公司生产的极紫外光刻机（EUV光刻机）。具备生产4纳米甚至精度更高的芯片的能力。我们当前所使用的手机的芯片，精度均是4纳米级别，而且也全部是由荷兰阿斯麦公司的极紫外光刻机生产的。

而且即便强如阿斯麦公司，光刻机也无法自主生产，需要从美国、日本等国进口零部件。可以说，阿斯麦公司的极紫外光刻机是集世界最先进的技术于一体生产的，研发难度甚至超过了航母和航天发动机。也就是说，目前还没有哪一个国家可以自主独立研发和生产极紫外光刻机。

正是由于极紫外光刻机有着如此巨大的技术难度，故而目前阿斯麦公司占据着全球光刻机市场60%以上的份额，而极紫外光刻机技术则占据着超过95%的全球市场份额，每台极紫外光刻机售价高达5亿美元。每年阿斯麦公司依靠极紫外光刻机就可以获得45亿欧元的净收入。

目前我国100%国产化且具有完全自主知识产权的光刻机，是2020年研制的180纳米制程光刻机，完全自主可控，与世界先进水平差距巨大。而此次工业和信息化部发布的国产氟化氩光刻机，缩小了我国光刻机与世界先进水平几十年的差距，战略意义极其重大。

假如我国持续在光刻机领域发力，实现类似极紫外光刻机技术的突破，每年单单光刻机和芯片进口就能节省超过2万多亿元人民币的花费。而且这还只是自我花费的节约，有了先进的光刻机，我们还可以进行光刻机和芯片的出口。这样里外里怕不是能够为国家产出3万亿人民币的财富，换算成美元，可以排到世界各国GDP排名的第30位。

而且光刻机的自主化也会对我国的国家安全产生重大利好作用。要知道当前我们使用的电子产品、工业生产设备、军事武器装备、雷达卫星等等各行各业都离不开芯片。芯片性能越高，这些设备功能越强大，工作效率也越高，这样附加的财富根本无法用数字来衡量。

而这一切都需要光刻机，光刻机的性能和精度越强大，那么我们就可以生产越先进的芯片。而且这也可以从根本上应对美国的制裁。

国产氟化氩光刻机的问世，是我国光刻机研制历史的里程碑，其意义甚至超过了自研航空母舰，是助力我国各行各业稳健发展的基石。

▼参考资料和信息来源▼

●新浪财经《全新国产DUV光刻机曝光：“套刻≤8nm”是个什么水平？》

●工信部《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》