光刻机、光刻胶概念震荡拉升，双乐股份（301036）涨超13%，京华激光（603607）、海立股份（600619）双双涨停，蓝英装备（300293）、波长光电（301421）、凯美特气（002549）、张江高科（600895）等跟涨。