又一国内半导体巨头，在临港落成并投产。

近日，盛美半导体设备研发与制造中心（以下简称“盛美临港项目”）落成暨投产典礼在上海市临港新片区顺利举行。盛美临港项目占地64亩，共有5个单体，包含两座研发楼、两座厂房和一座辅助厂房，将重点开发槽式清洗机、退火炉等集成电路清洗设备的新产品。

 目前，盛美临港项目的一栋厂房年产可实现300-400台，年产值达50亿元以上；明年另一厂房装修完毕并投入使用后，预计实现百亿产能。

值得一提的是，这并不是第一家布局临港的半导体巨头。仅两个月内，便有韩国埃珀特功率半导体、中微公司、华岭股份的项目均成功落地临港。可以说，临港，正在成为半导体企业投资兴业的首选之地。

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研发全球首创半导体清洗设备 

1998年，盛美半导体在美国硅谷成立。2005年，在上海市的引进和支持下在张江成立了盛美上海公司。在全球化的背景下，盛美半导体于2017年11月正式登陆美国纳斯达克，是首家赴美上市的中国半导体设备公司；又于2021年在科创板成功上市。

过去20多年来，盛美半导体坚持差异化创新竞争战略，建立了强大的知识产权体系，致力于为集成电路制造业提供先进的晶圆清洗和湿法加工设备，形成了以清洗机、电镀机和先进封装湿法设备为主的产品线。

在技术核心上，盛美半导体成功研发出全球首创的SAPS/TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术，应用于28nm及以下技术节点的晶圆清洗领域，站在了半导体清洗设备行业的技术制高点上。

基于坚实的技术能力，盛美半导体先后承担了国家科技重大专项和上海市科技创新行动计划专项项目。其兆声波清洗技术荣获上海市科学技术进步奖一等奖，彰显了盛美的创新能力，为上海乃至全国的集成电路产业发展作出重要贡献。

技术和产品线的进一步完善，让盛美半导体位于张江高科技园区的工厂已不足以支撑需求。2018年9月，盛美半导体宣布，其在上海浦东川沙设立的首个亚太制造中心正式启用。该亚太制造中心，将解决盛美半导体今后几年的产能问题，预计将每年增加产能2.5亿美元，加上公司原来位于张江高科技园区的工厂，可保证超过3.5亿美元的年产能。

得益于产品研发和业务发展，2023年，盛美半导体实现营业收入38.88亿元，同比增长35.34%；对应归属于上市公司股东的净利润为9.1亿元，同比增长36.21%；扣非后净利润8.7亿元，同比增长25.77%。2024年上半年，公司实现营业收入24.04亿元，同比增长49.33%；净利润4.43亿元，同比增长0.85%；扣非净利润4.35亿元，同比增长6.92%。

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4年建成，有望实现百亿产能

2020年5月7日，东方芯港首幅研发和工业混合用地顺利摘牌，盛帷半导体设备（上海）有限公司成功竞得临港重装备产业区C02-05c地块（202006301号）。此举标志着盛美半导体设备研发与制造中心实质落地，该项目将成为东方芯港发展的强力引擎。

同年7月7日，盛美临港项目举行了开工仪式。这是临港新片区东方芯港第一个集成电路拿地项目，也在临港首创了研发和工业混合的用地模式。盛美半导体董事长王晖在开工仪式上说：“临港新片区集聚了盛美的战略客户积塔半导体、新昇半导体，以及当天一起开工的格科微、新微等潜在客户。未来，我们还会有更多客户落地临港，为设备公司发展提供非常好的发展机遇。”

公开信息显示，盛美临港项目占地64亩，共有5个单体，包含两座研发楼、两座厂房和一座辅助厂房，总建筑面积13.8万平方米。其中，两座厂房A和B的总面积4万平方米，都是洁净车间。值得一提的是，在已投产的厂房A布局了智能物流仓储系统，是一座智能工厂。它全面提升了盛美生产制造能级和效率，仅厂房A的产能便达到现有川沙工厂的产能，年产可实现300-400台，年产值达50亿元以上。若明年厂房B装修完毕并投入使用，产能达百亿元。

2023年1月，盛美半导体设备研发与制造中心的厂房A顺利封顶，取得阶段性的胜利。今年8月，盛美上海项目迎来了试生产，同时也带来首台设备出机。

历经4年，盛美临港项目终于落成。王晖在盛美半导体设备研发与制造中心落成暨投产典礼的致辞中说道：“这是盛美发展历史上的一个里程碑，标志着盛美在临港开花结果，开启在临港加速发展的进程。盛美完全有信心实现两座厂房百亿产能，从而支撑公司跻身综合性集成电路装备企业的第一梯队。”

典礼上，复旦大学微电子学院院长张卫教授还表示，复旦大学微电子学院和国家集成电路创新中心将继续与盛美开展更加紧密的合作，在集成电路更加广阔、更加前沿的领域充分发挥双方的资源优势，携手共进，为我国集成电路产业发展作出新的更大贡献。

可以预见，未来，盛美半导体设备研发与制造中心将成为国内半导体产业链中关键设备的重要生产基地。

为什么是临港？

布局临港，盛美半导体并非个例。

10月21日，韩国埃珀特功率半导体晶圆研磨及封测项目签约仪式在临港开发区举行。本次落户临港的项目总投资4000万美元，计划新建1条晶圆芯片测试研磨与切割加工生产线和2条功率模块与智能模块封装生产线，开展晶圆芯片的检测、研磨、切割、加工，以及半导体功率模块的组装、封装、测试和销售等业务。

中微公司临港产业化基地

今年8月，中微公司临港产业化基地启用仪式在东方芯港举行。中微临港产业化基地项目总投资16.7亿元，占地157亩，总建筑面积约18万平方米，为中微最大的生产制造基地。同时，华岭股份全资子公司上海华岭申瓷集成电路有限责任公司也在上海临港举行开业仪式。

仅3个月就有3个半导体大项目落地，临港有何吸引力？也许，可以从盛美临港项目中窥见一二。仅3个月就有3个半导体大项目落地，临港有何吸引力？也许，可以从盛美临港项目中窥见一二。在盛美半导体设备研发与制造中心落成暨投产典礼上，临港新片区党工委委员、二级巡视员龚红兵说：“临港新片区成立5年以来，构筑了开放型前沿产业体系，形成了龙头企业牵引、中小企业协同、产业政策保障有力的产业生态体系。特别是集成电路产业，形成了龙头牵引、全链布局的产业体系。”

据龚红兵介绍，临港新片区集聚了300多家在国内外有影响力的集成电路企业，覆盖芯片设计、制造、设备、核心材料、封装等各个领域，已经成为整个上海、长三角乃至全国，集成电路产业集聚度最高、产业规模最大、产业生态最完整的地区。

相关数据显示，临港新片区集成电路产业规上产值从2019年的不到3亿元到2024年即将突破200亿元，用五年时间实现翻六番的增长奇迹。

串珠成链，集链成群。企业的集聚、生态的完整、政策的扶持，都让临港新片区逐渐成为半导体产业发展的热土，未来将吸引越来越多的企业在此集聚发展。